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“热退火破裂?!”
听到消息的刘兴东,立马就站了起来,“这怎么可能!
我们这边所有的检测都达标了啊!
?”
“可这就是事实,不止是中芯这边,华鸿、立昂微、苏大微电子研究院那边,也全都出现了这个问题,没有一片刻成了晶圆。”
“我们现在基本可以肯定,这项技术存在严重的技术缺陷,只不过我们暂时也找不出原因……”
“如果你不相信,可以找申城硅产业做进一步的验证,我们这边的相关实验数据,也会安排人给你们送过去。”
“……”
挂完电话后,刘兴东整个人都还是懵的。
正常来说,从硅片变成晶圆,需要经过湿洗、光刻、离子注入、干蚀刻、湿蚀刻、等离子冲洗……
然后就是这次硅片出问题的环节:热处理!
而热处理,又分为快速热退火和退火。
快速热退火,就是使用大功率照射灯,把刻好的晶圆,瞬间照射到1200摄氏度,然后让它慢慢冷却。
这么做的目的,是为了使之前注入的离子,能更好的被启动以及热氧化。
硅信科技这次造出来的12寸硅片,就是在冷却的过程中,出现了材质破裂!
这相当于房子都快建好了,结果地基开裂……
简直是毁灭性的灾难!
刘兴东立即召集了技术团队,让他们赶紧做进一步的验证,还想着看能不能尽快解决这个技术缺陷。
此时的他,还完全没有意识到,这其实是康驰送给他的大礼。
主要是康驰的这份大礼,实在是太真了……
其实胡文均在拿到图纸的时候,也最多信了五成,剩下的五成,则是假设他们已经被暴露了,康驰给他们的,要么是假的,要么是有问题的。
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